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過程冷卻設備Chiller主要應用以及特點

 更新時間:2022-11-23 點擊量:1287

  在元器件行業中,半導體、芯片的要求比較高,過程冷卻設備Chiller可以測試在不同環境下元器件的性能狀況,還有一個是在封裝組裝生產下不同的溫度測試以及其他性能測試,避免產品投放市場面對不同使用環境,導致電子元器件不可用。


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  無錫冠亞研發的半導體半導體專用溫控裝置也稱為過程冷卻設備Chiller主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的準確控制,主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置,屬于生產過程中的溫控設備。

  過程冷卻設備Chiller控溫精度優于±0.3℃,可在-85℃~250℃任意工況切換,具有良好的溫度跟隨性;設備具有故障自診斷功能,當設備出現故障時及時報警并顯示在觸摸屏上;全密閉管道式設計,模糊PID控制算法,具備串級控制算法,導熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設定可控制。

  過程冷卻設備Chiller主要應用在芯片的溫度沖擊和溫度循環測試,芯片的高低溫循環測試,疲勞失效測試,芯片、模塊、集成電路、電子元器件等性能測試,可靠性分析等。


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